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标题：[讨论][求助]最基本的MEMS麦克风有几个引脚
1楼
enjoyzhang 发表于：2010-12-14 8:56:12各位大侠：
一般市面上的MEMS麦克风是内部含有专用集成电路如放大器，如楼氏SPM0208，但不知道没有内部专用集成电路的最基本的MEMS麦克风是什么样子的，他有几个引脚？，每个引脚是什么功能？
2楼
水仙 发表于：2010-12-14 10:47:16§国内主要有专利10项
1)CN02823045.0 硅麦克风(楼氏电子有限公司)
2)CN200410033638.1 微硅麦克风及其制备方法(北京大学)
3)CN200480018356.2 硅麦克风的制造(森斯费伯私人有限公司,新加坡)
4)CN200520084434.0 抗干扰性能强的硅麦克风(潍坊怡力达电声有限公司)
5)CN200520084435.5 长声道硅麦克风(潍坊怡力达电声有限公司)
6)CN200410098803.1 可实现声源定向的硅微麦克风组合体(清华大学)
7)CN00105555.0 用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构及其制备方法(清华大学)
8)CN00231331.6 用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构(清华大学)
9)CN200510026626.0 单片硅基微型电容式麦克风及其制作方法(复旦大学;深圳豪恩电声科技有限公司;同济大学)
10)CN200410100283.3 可降低振动膜应力的硅晶凝缩式麦克风结构(美律实业股份有限公司)
11)CN200410042170.2 电容式硅基微麦克风及其制法(美律实业股份有限公司)
12)CN200410100284.8 硅晶微麦克风的制作方法(美律实业股份有限公司)
3楼
水仙 发表于：2010-12-14 10:59:58
此主题相关图片如下：mems mic1.jpg
4楼
水仙 发表于：2010-12-14 11:00:18此主题相关图片如下：mems mic2.jpg
5楼
水仙 发表于：2010-12-14 11:05:46没有ASIC等元件的是MEMS SENSOR, 只有两个端口, 信号输出和极化电压, (如上图所示意).一般需要"打线机"和"固晶机"等设备,当然,贴片机也是需要的.
6楼
enjoyzhang 发表于：2010-12-14 12:24:38水仙的回答很细心，也很精彩
再细一点的话，这个MEMS麦克风应该等效成一个电容：一个电容只有两个极板，一端接偏置电压，另一端就不是地，而是信号输出端了吗？信号端的直流电平会是多少呢？
7楼
enjoyzhang 发表于：2010-12-14 12:27:01看到一些论文上说，这个MEMS麦克风等效的电容是不理想的，加上偏置电压后，会有小的漏电流，那就是说存在一个大电阻。
8楼
水仙 发表于：2010-12-14 12:44:53此主题相关图片如下：mems mic3.jpg
给一个仿真图参考看看,里面没带FET部分.
9楼
水仙 发表于：2010-12-14 12:47:31此主题相关图片如下：mems mic4.jpg
10楼
enjoyzhang 发表于：2010-12-14 15:01:29呵呵，这两个图是水仙自己做的仿真，太感谢了。
这个图是你的MEMS麦克风的电声等效模型吗？貌似有点看不懂，对于我做模拟仿真的话，这个MEMS麦克风应该等效成什么样子呢？
谢谢~··